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涉及字段:wafer编号、wafer直径、die长、die宽,die编号,die横坐标,die纵坐标,测试数据1,测试结果1,测试数据2,测试结果2,...... 测试数据n,测试结果n。

 

  • 晶圆图自动生成:Wafer直径可编辑输入,die尺寸可编辑输入(长宽),定位原点,自动生成die布局,自动显示die编号与坐标。晶圆图根据算法自动生成:Wafer直径可编辑输入,die尺寸可编辑输入(长宽),定位原点,自动生成die布局,自动显示die编号与坐标。
  • 晶圆图导入生成:原数据表中已有die编号及坐标信息,将wafer编号、wafer直径、die长、die宽,die编号,die横坐标,die纵坐标数据直接导入,生成wafer图。晶圆图根据现有的数据生成:原数据表中已有die编号及坐标信息,将wafer编号、wafer直径、die长、die宽,die编号,die横坐标,die纵坐标数据直接导入,生成wafer图。
  • 图例:测试结果有两种,线性数据和非线性数据,线性数据支持区间分段显示,非线性数据(类似于合格、不合格)支持不同值区分显示,均需用不同颜色区分不同的区间或值。
  • 支持两种图,重叠分析(一张图,只显示合格与不合格)与拆开分析(按不同测试项拆开,每个测试项的测试结果作为图例)两种模式;
  • 支持原图放大缩小功能,wafer与die同比例缩放;
  • 支持鼠标放在die上显示die编号和测试结果信息;

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